真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜機(jī)是目前制作真空條件應(yīng)用最為廣泛的設(shè)備，對(duì)其操作程序的了解是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)，在真空鍍膜機(jī)的具體操作過(guò)程中建議參照以下標(biāo)注說(shuō)明：

        一、 檢查真空鍍膜機(jī)各操作控制開(kāi)關(guān)是否在"關(guān)"位置。

        二、打開(kāi)總電源開(kāi)關(guān)，設(shè)備送電。

        三、低壓閥拉出。開(kāi)充氣閥，聽(tīng)不到氣流聲后，啟動(dòng)升鐘罩閥，鐘罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無(wú)任何雜質(zhì)污物。

        五、落下鐘罩。

        六、啟動(dòng)抽真空機(jī)械泵。

        七、開(kāi)復(fù)合真空計(jì)電源(復(fù)合真空計(jì)型號(hào):Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時(shí)針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至110mA時(shí)，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。

        八、當(dāng)?shù)驼婵毡?quot;2"內(nèi)指針再次順時(shí)針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，低壓閥推入。這時(shí)左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。

        九、 真空鍍膜機(jī)開(kāi)通冷卻水，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動(dòng)作程序:左下旋鈕"1"轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。低真空表"2"內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)，當(dāng)指針移動(dòng)至6.7Pa時(shí)，開(kāi)高壓閥(閥桿順時(shí)針旋轉(zhuǎn))。

        十一、等低真空表"2"內(nèi)指針右移動(dòng)至0.1Pa時(shí)，開(kāi)規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān)。

                1）發(fā)射、零點(diǎn)測(cè)量鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。

        十二、 旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕"4"，使高壓真空表"5"內(nèi)指針指向5。

        十三、 發(fā)射、零點(diǎn)、測(cè)量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向零點(diǎn)位置。

        十四、旋轉(zhuǎn)零點(diǎn)調(diào)節(jié)鈕"10"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向0位置。

        十五、 發(fā)射、零點(diǎn)、測(cè)量旋鈕"9"旋轉(zhuǎn)至指向測(cè)量位置。

        十六、旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)鈕"3"，讓高壓真空表"5"內(nèi)指針指向10。

        十七、旋轉(zhuǎn)"倍加器"開(kāi)關(guān)鈕"8"至指向10-12，當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時(shí)針左移超過(guò)1時(shí)，再把"倍加器"開(kāi)關(guān)旋鈕"8"旋轉(zhuǎn)至指向10-3。

        十八、當(dāng)高壓真空表"5"內(nèi)指針逆時(shí)針移動(dòng)超過(guò)6.7Pa時(shí)，開(kāi)工件旋轉(zhuǎn)鈕開(kāi)關(guān)，鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動(dòng)。

        十九、開(kāi)蒸發(fā)鈕開(kāi)關(guān)。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)(設(shè)有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪，慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開(kāi)始熔化時(shí)，左手操作擋板鈕，移開(kāi)鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。

                  4）右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流分插塞撥出插入另一個(gè)電極分配孔。重復(fù)?操作動(dòng)作。

        二十二、 關(guān)閉規(guī)管燈絲開(kāi)關(guān)。關(guān)閉高壓閥(逆時(shí)針轉(zhuǎn)手柄)。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn)。關(guān)閉蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵鈕至指向擴(kuò)散泵位置。

        二十三、 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時(shí)間，當(dāng)沒(méi)有氣.聲時(shí)，升鐘罩。

        二十四、鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下 (原下面已鍍一層鋁膜面向上)。緊固在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤上。

        二十五、 落鐘罩。開(kāi)機(jī)械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置 。

                    2）當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測(cè)量位置。

                    4）當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到6.7Pa時(shí)，開(kāi)高壓閥。旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測(cè)量位置。

                    5）當(dāng)?shù)蛪赫婵毡?quot;2"內(nèi)指針順時(shí)針移動(dòng)到指向0.1Pa時(shí)，開(kāi)規(guī)管燈絲。

                    6）由?開(kāi)始重復(fù)操作至? 。

        二十六、 正常生產(chǎn)中，如遇到突然停電時(shí)，要立即切斷高真空測(cè)量，關(guān)閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來(lái)電后，先讓機(jī)械泵啟動(dòng)工作3~5min后，再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。